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电子半导体喷涂废气的处理流程是什么

文字:[大][中][小] 本文首次发布时间:2020-01-04     浏览次数:

电子半导体生产车间的喷涂过程会产生废气,也称为电子喷涂废气。喷涂废气主要由甲苯、二甲苯和其他有机废气组成。喷涂废气挥发后形成挥发性有机化合物,产生光化学反应形成烟雾,破坏臭氧层,对人体和大气造成危害。因此,电子喷雾废气处理是环境评价要求的重点,也是电子半导体企业必须达到排放标准的废气处理要求。  喷涂废气治理方法  为了有效处理喷雾废气,采用了各种物理、化学和生物处理方法对其进行处理。目前,根据不同的废气处理形式。处置技术可分为销毁法和回收法。销毁方法是指将有机废气完全转化为对环境无害的物质,如CO2和H2O。大多数常见方法是燃烧法和生物法。回收方法是指通过改变环境条件或采用一定的分离方法来分离有机废气。有机废气最终“变得有价值”。经过处理后,它作为溶剂再次进入喷涂系统,以便重新使用。常用的处理方法描述如下。  
2.1燃烧法
燃烧法是指在某些催化剂或其他条件下,通过一系列化学变化,将废气中的可燃物质分解成对环境无害或可回收的物质。这种方法操作简单。常用用于处理高浓度废气。燃烧废气中的大多数物质可以高效处理,但这种方法通常需要使用某种催化剂。催化剂中毒经常发生。  
2.2生物法
生物净化方法通常使用微生物降解有机废物并使其成为对环境无害的物质。这种方法是借用微生物处理污水。只要条件合适,无处不在的微生物几乎可以分解所有的有机和无机物质,因此生物净化方法被广泛应用于污染物的处理。然而,由于微生物代谢缓慢和环境条件恶劣,处理过程耗时太长,成本相对较高。  
2.3吸附法
吸附方法包括化学吸附法和物理吸附法。化学吸附法(Chemical adsorption method)是指吸附剂通过化学键与被吸附物质结合连接,从而通过吸附剂吸附污染物中的一部分人体物质。物理吸附法是指吸附剂和被吸附物质通过分子间力的结合。双方的财产没有改变。在这个过程中没有化学反应。在挥发性有机化合物的处理中,吸附是应用最广泛的处理技术。大多数常见吸附剂是活性炭。然而,在工厂目前使用的活性炭吸附工艺中,没有回收工艺。活性炭不能回收。因此,工艺成本相对较高。它不符合连续发展的概念。本文综合了传统有机废气处理方法的优缺点,综合比较了分析几种经典处理方法的优缺点。另外,根据某电子公司的设备、生产条件和工艺,结合喷涂过程中产生的废气浓度低、风量大的特点,科学合理地设计了一套综合治理工程:吸附处理、解吸、再生、燃烧和释放。通过图1所示的工艺流程图对    
3喷涂废气治理工程    
3.1治理工程概述

由于电子产品喷涂过程结束后产生的有机废气与细颗粒和一部分漆雾混合,如果这些细颗粒和漆雾与有机废气一起进入活性炭吸附室,有机废气降低活性炭吸附的活性部位和降低的吸附效率将大大提高,因此废气进入吸附室之前,需要进入雾化洗涤塔。通过洗涤,细颗粒和油雾将被去除。因此,喷射废气需要经过图1中的处理过程。

  
3.2治理工程工艺介绍
喷涂过程中产生的废气进行综合处理。具体而言,喷射的废物首先通过雾化洗涤塔。雾化洗涤塔由多层多孔纤维层组成,并且从第一层开始,每单位面积每层中的孔数量变大。当废气通过洗涤器时,废气中的细颗粒、漆雾和少量有机物不断与微孔碰撞并结合,细颗粒不断细化并逐层连续附着,最终全部结合。

喷涂废气处理工艺和方法的选择,应结合电子半导体企业的实际生产需要,制定切实可行的喷涂废气处理方案。电子半导体行业产生的废气处理方法也在不断更新,实现喷射废气处理零排放的进程也将在未来得到推进。

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